과학기술정보통신부에서는 첨단 반도체 공정 혁신을 통한 기술 선도를 위해 차세대 반도체 장비 원천기술을 개발하여 연구ㆍ산업의 경쟁력 강화를 위해 「차세대반도체장비원천기술개발사업」의 2024년도 신규과제 선정계획을 아래와 같이 재공고하오니 연구자분들의 많은 관심과 참여 바랍니다.

☞ 「국가연구개발혁신법」 제2조제3호에 따른 기관 및 단체, 기업부설 연구소 또는 연구개발전담부서를 보유한 기업 단독 또는 컨소시엄

☞ 대면적・고심도 계측/검사용 SEM(전자현미경) 장비 원천기술 개발 연구비 2,500백만원 이내 지원